尼康的行动还是很快的,毕竟留给他们的时间并不是很多。
第一代的pentium2实际上1997年就上市了,而1998年1月发布的deschutes核心的pentium2,就已经开始使用0.25微米工艺。
也就是说intel在1997年的时候就要着手升级生产线,不论是尼康也好,阿斯麦也好,在0.25微米工艺上都是只差临门一脚。
在这种双方都掐着表竞争的时候,尼康只要还有一些野心,就不会允许时间如此白白浪费。不论是成立合资公司,还是抓紧时间自己研发,都已经到了必须赶快作出决定的时候了。
周硕没有等待太久,尼康发挥了它国际顶级企业的水平。像这类大公司,只有想不想做的事情,断然没有想做却做不到的事情。只要肯付出成本,一大把的渠道愿意为其所驱使。国内或许没有美国那样的专职游说公司,但社科院里出反贼也是有传统的。
里面出来的经济学家挨个枪毙有冤枉的,但隔一个杀一个肯定有漏网的。反正只要拿出钱来,想找个代言的还是很简单的。国内这些“砖家”、“叫兽”名声不就是这么坏掉的?
书归正传,尼康经过一周时间的努力,多少还是有些收获的。起码从比较高的层次上,得到了一个准确的消息——国内并不会反对0.25微米工艺的光刻机向国外出口。中国政府当然不会反对,有人说你彩票中了一亿的时候,借给我一百万行不行?当然行了。反正我又不会中一亿彩票。
同理,要中国政府许诺出口0.25微米光刻机。这本来就是空对空的事情。想出口?行啊,反正我们现在还没有这个技术呢。
算上尼康转让的0.5微米技术。以及泛翰集团掌握的沉浸式光刻技术,最多也就是能实现0.35微米工艺而已。
鹤田和白石茉莉奈漫步在泛翰研究院精致的园区里,贝聿铭老先生可不只是西学大家,对中国园林设计同样是有很深造诣的。
作为他的作品,泛翰帝都研究所里的景致设计,即使在冬天也一样能够感受到植物的绿色活力。进入三月之后,四时花卉也都已经渐渐复苏,亭台楼榭之间点点绿色点缀,更是增添了许多让人心旷神怡的元素。
然而在这样雅致的环境里。鹤田却完全没有一丝欣赏的心情。他和白石茉莉奈远远的吊在带路人的后面,小声的用日语在交谈着。
“白石部长,你有没有觉得这个过程太顺利了点……”鹤田皱着眉头,在白石茉莉奈耳边说道。
白石茉莉奈想了想,不可置信的说道:“鹤田专务的意思是,这其实是中国人的计谋?”
“未必没有这种可能啊。”鹤田踌躇了一下,这才说道:“咱们两人都是赞同合资的,所以有些话我就不用避讳了。”
他想了想,有些担忧的说道:“从中国电子工业部和国防科工委要求禁止沉浸式光刻技术出口开始。到周桑抛出来的建厂方案,以及最近在中国高层中取得的进展来看,我很担心这又是一次阴谋。目的可能是为了我们的生产技术,又或者是想要我们提供更先进的光刻机设备。”
白石茉莉奈皱着眉点了点头。说道:“确实,中国人之前就使用了类似的手段,泛翰集团通过隐藏在华晶身后。获得了我们0.5微米光刻机的成套技术。如果说他们还想得到我们的整套生产设备,以及更先进的、正在研发中的光刻机技术。把合资工厂设在中国就是一个最好的办法。”
她说完,抬起头看向鹤田问道:“那么。鹤田专务的意思呢?要终止和泛翰集团的合作吗?”
“这个……”鹤田有些犹豫了起来,不甘心的说道:“目前还只是猜测,今天见过周桑之后再下决断吧。”
两人正说着话,确没有注意带路的人已经停下了脚步,对面突然传来周硕说话的声音。
“鹤田专务、白石经理,几天不见辛苦二位往来奔波了。”周硕和蔼的笑着,宽厚的笑容看起来仿佛是座弥勒佛。
他今天穿了一身研究员穿的白大褂,和国内惯常的棉布料白大褂不同,他这件款式上虽然没有什么特殊,但整个人穿起来却显得格外笔挺。显然在这件白大褂的材料上,是使用了非常昂贵的西装面料。
“周总。”鹤田和周硕握过了手,四下打量一下问道:“这是哪里?我以为我们是要在办公室见面。”
周硕呵呵笑了一下,指着自己身后说道:“这是我们泛翰集团进行光刻机研究的实验室,之前鹤田先生想要参观沉浸式光刻技术,我看择日不如撞日,就今天好了。”
“你要带我们参观泛翰集团的沉浸式光刻技术?”鹤田瞪大了眼睛,不可置信的问道。
“没错,我邀请鹤田先生和白石经理,一起参观我们泛翰研究院的实验室。”周硕笑眯眯的肯定回答道。
鹤田和白石茉莉奈对视一眼,纷纷看到了对方眼里的诧异。在这个特殊的时间点,眼看着双方合作可能流产的时候,周硕竟然安排他们参观泛翰集团最大的底牌!这是为什么?
带着这样的疑惑,鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下实验室的大门。
经过穿戴防尘服和除尘通道之后,三个人进入了实验室内部。鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕。事实上这种密闭的地下空间,也确实比较容易引起一些人的心理反应。
周硕瓮声瓮气的声音,从防尘面罩后面陆陆续续的传了出来:“这是泛翰研究所的蜂巢实验室,负责光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点总共有三个部分,分别是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”
他边走边侃侃而谈道:“我们的光源使用的是365nm的i线弧光灯光源,这样在经过纯水的折射之后,它的波长就变成了260nm。而纯水,必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术障碍,那肯定就是防水光刻胶了。普通光刻胶是无法在水中保持不扩散的,所以必须使用特制的……”
周硕倒是不怎么在乎保密的问题,如果来两个人看两眼、听两句科普就能把技术抄了去,那这种技术也没有什么保密的必要了。沉浸式光刻技术在历史上可是持续研究了十多年,才逐渐投入使用的技术。真要是形成论文,绝不会少于一个尼康运资料的木箱。在后世是几种影响线宽因素中,非常重要的一个方面。
他们向实验室内部走去,很快就到了一台机器前面。很明显,白石茉莉奈一眼就看出来,这是一台尼康生产的0.5微米光刻机。此时它能够出现在这里,不言自明是作为改装实验设备。
果然,周硕指着这台两人高的机器说道:“二位,这就是我们泛翰研究院改装之后,性能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”
“经过改装后,它的加工能力达到了0.352微米水平。遗憾的是虽然加工能力提升,但它的良品率也下降了百分之十。”
白石茉莉奈抓住机会,突然打断了周硕的话说道:“周桑,我能离近了观察一下吗?”
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:“当然可以,实际上我正想演示一下它的运转过程。如果方便的话,白石经理请你帮忙操作一下旁边的光源系统。”
与此同时他自己也站在光刻机另一边的机柜旁,开始在键盘上操作起控制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然无比熟悉,在周硕的指挥下也很快对光源系统进行了设置。
随着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在细微的电机声中突然转动了起来。一片晶圆在机械手的操作下被送上了光刻台,已经涂好光刻胶的晶圆在对准系统的操作下,进入了准备接受激光照射的位置……
白石茉莉奈目不转睛的透过玻璃窗,看着正在运转中的光刻机镜头。
在光刻机最后一组镜头的下面,有别于尼康的设备,泛翰研究所的光刻机额外多出了一个玻璃罩。玻璃罩的左右有两个小水管。白石茉莉奈知道,那是注入纯水的通道。玻璃罩的下面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应该已经注满了高纯度的去离子水。
真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色。白石茉莉奈只能通过机械操作的对准系统运转,来判断光刻机是否在工作。因为她是看不到激光颜色的,这是由于光刻的激光高度集中根本不会散射出来,人眼自然也就无看到激光的存在。
周硕站在一旁,双手抱胸看向两个人,不咸不淡的笑道:“怎么样,我们泛翰集团对尼康光刻机的改造,白石经理还看得过眼么?”
说完,他也不理白石茉莉奈的反应,转过身来向鹤田问道:“我不说的话,想必鹤田先生肯定是在怀疑,我们泛翰集团又在耍花招骗取尼康的技术吧?”